洁净车间的净化空调系统根据大气含尘浓度、大气中各种污染物浓度和产品生产工艺特点及要求配置各类空气过滤器——粗效、中效、高中效、亚高效和高效、超高效以及化学过滤器等。具体净化空调系统中空气过滤器的配置和选用应根据洁净室的空气洁净度等级和产品生产工艺的特殊要求(当工艺无特殊要求时,一般都是按空气洁净度等级配置)合理配置和选用,对于6级(1000级)和比6级洁净度差的洁净室的净化空调系统通常采用三级空气过滤,即粗效、中效和髙效过滤器;粗效、中效(或中高效)过滤器,通常设在空气处理装置(AHU)内,且将中效或中高效设在正压段;高效或亚高效过滤器一般设在洁净室内净化空调系统的末端,也有将高效过滤器集中设在集中的空气处理装置(AHU)内,但此时应对送风管道提出严格的清洁要求,以避免净化后的空气被污染。对于5级(100级)和更严格的洁净室的净化空调系统中空气过滤器的配置,应根据洁净室的总体设计方案及采用的净化空调系统的要求配置各类过滤器,比如有的集成电路生产用4级(0.1μm)和更严要求的洁净室采用新风集中处理,为了严格去除大气中的微粒和各种污染物,通常在新风处理装置中设置粗效、中效(中高效)、亚高效甚至高效过滤器和化学过滤器或水喷淋装置等;在洁净室的循环风系统还设有高效、超高效和化学过滤器等;有的集成电路生产用洁净室还在生产过程的某些生产区、生产工序或工艺设备设微环境装置,以确保产品生产所需的空气洁净度要求。近年来,由于大气质量的下降,特别是除大气尘以外的一些化学污染物或微生物等的增加,某些工业产品生产环境的更为严格的要求,在许多情况下仅仅采用“三级过滤器”的空气净化处理的概念已不能满足需要,因此在进行洁净室的净化空调系统设计时,应认真了解产品生产工艺要求和当地的大气质量情况,实事求是地进行空气过滤器的配置。
空气过滤器的额定风量是过滤器在一定的滤速下,过滤器效率和阻力合理选择时的风量;所以在确定空气过滤器型号规格时,一般应按小于或等于额定风量选用。有时在具体工程设计中经过技术经济比较和实际可能,常常小于额定风量选用过滤器,使阻力降低,可使净化空调系统的运行能量消耗下降。
洁净室设计者在进行空气过滤器选型时,最为关注的是过滤器在额定风量下的效率、阻力等主要性能参数,这些性能参数在各个国家地区均有各自的标准规定及相应的检测方法，各过滤器生产厂家也根据以上标准制定自己的产品标准提供给用户,其中过滤器效率的标准、试验方法各不相同,欧洲在20世纪70年代便推出了EU系列空气过滤器标准,从EU1—EU14共14个等级;20世纪90年代又推出了G-F-H-U的分级标准,共有17个等级;1996年美国也推出以C1~C4、L5~L7、M9~M12、H13~H16、UH17~UH20的过滤器效率分级标准;1999年欧洲标准委员会(CEN)又以EN1822—1发布MPPS(最易穿透粒径)的测试方法和分级标准;在后面将介绍我国制定的空气过滤器和高效空气过滤器的国家标准的情况,过滤器效率分级为粗效、中效、高中效、亚高效和A、B、C、D高效过滤器等。
