为保证产品生产环境或其他用途的洁净室设计所要求的空气洁净度,要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合技术措施包括：采用污染物较少的生产工艺和设备，或采取必要的隔离和负压措施，防止生产过程产生的污染物向周围扩散，采用粉尘少、微生物少的室内装饰材料和工具，减少人员和材料带入室内的污染物，保持生产环境相对于室外的清洁或空气质量要求低的相邻房间应有一定的正压防止室外或相邻房间通过门窗或其他缝隙、孔洞携带污染物；加强洁净室管理，按规定进行清洁消毒。
除上述技术措施外，为了将生产环境或其他用途的洁净室的室内环境控制在要求的空气洁净度水平，重要的技术措施是送足够的经处理的洁净空气，以代替或稀释正常生产过程中产生的污染物污染的空气房间的操作。洁净室的空气净化处理是指根据房间不同洁净度等级的要求，以不同方式处理的洁净空气以不同的方式送出，并将相应数量的受室内产生的污染物质污染的脏空气排出，使洁净室动态平衡，使室内环境保持在所需的空气洁净度水平。通常所指的空气污染物质主要有以下三类。
①悬浮在空气中的固态、液态粒子;包含附着在粒子上的分子污染物
②霉菌、细菌等悬浮在空气中的微生物
③各种对人体或生产产品有害的气体。
根据空气中含有的污染物质不同,采用相应的净化处理方法,空气中主要污染物质的净化方法如表1所列。
污染物类别 | 主要净化方法 |
悬浮微粒 | 过滤法、洗涤分离法、静电沉积法、重力沉降法、离心力和惯性力分离法 |
细菌等微生物 | 过滤法、紫外线杀菌法、消毒剂喷雾法、加热灭菌法、臭氧杀菌法、焚烧法等 |
有害气体、化学污染物 | 吸附法、吸收法、过滤法、焚烧法、催化氧化法等 |
目前洁净室对送入空气的净化方法,最重要和使用最广泛的方式是空气过滤法。送入洁净室的清洁空气,主要是靠在送风系统的各部位设置不同性能的空气过滤器,用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。近年来,根据一些工业产品生产的微细化、精密化和高纯要求,还需去除空气中浓度极微的化学污染物或分子污染物,如超大规模集成电路生产、生物制品的生产等。为此,在洁净室的送风系统应增设各种类型的化学过滤器、吸附过滤器、吸收装置等。
